製作実績

ヘリウムで気体漏れがないかを検査するための装置

アクチュエータ

水没試験では見逃してしまう、微細な「気体漏れ」を逃さず検出

本装置は、分子構造が非常に小さく安全性の高い「ヘリウムガス」をトレーサーガス（探知用ガス）として使用し、製品や配管の気密性を高精度に検査する漏れ試験装置です。

従来の「水没検査（泡の発生チェック）」や「加圧降下法（気圧変化の測定）」では検出が困難だった極小の漏れ（マイクロリーク）を短時間で正確に特定します。自動車部品、電子デバイス、冷凍空調機器、医療機器など、高い高度な気密性が求められる多様な製造ラインの品質保障に貢献します。

■ ヘリウム気密検査装置の主な特長

• 1. 超高精度な検知能力 ヘリウムは元素の中で水素に次いで分子が小さいため、どんなに小さな微小な隙間からも抜け出します。この特性を利用し、極微小な漏れ（10⁻⁶〜10⁻¹² Pa・m³/sレベル）を確実に検出します。

• 2. 迅速かつ非破壊の自動検査 検査対象を傷つけることなく、数秒〜数十秒で正確な判定が可能。インライン（自動生産ライン）への組み込みにも対応し、検査工程のタクトタイム削減を実現します。

• 3. ワークを汚さない「クリーン検査」 水や液体を使用しないドライな検査のため、検査後の乾燥工程が不要です。電子基板や精密機器など、水滴や水分を嫌う製品の検査に最適です。

• 4. 不燃性・安全・高環境性 ヘリウムは無毒・不燃性の安定した不活性ガスのため、作業環境や人体に対しても安全に使用できます。